輝光放電質譜儀（GDMS）即輝光放電原子發(fā)射質譜儀，是一種利用輝光放電對固體材料樣品痕量雜質成分、深度進行直接進樣分析的儀器。工作原理是通過輝光放電產(chǎn)生等離子體，樣品表面被正離子撞擊發(fā)生濺射，濺射出的原子進入等離子體中離子化，在質量分析器中根據(jù)質荷比將不同離子分開，將具有特定質荷比的離子傳輸?shù)綑z測器，計算出各元素的質量分數(shù)。
　　輝光放電質譜儀主要由輝光放電離子源、質量分析器、離子檢測器、數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。根據(jù)輝光放電離子源供電方式不同，輝光放電質譜儀分為直流輝光放電、射頻輝光放電、脈沖輝光放電三種，其中直流輝光放電質譜儀商業(yè)化程度高、應用廣泛。
　　輝光放電質譜儀具有直接固態(tài)取樣、分析速度快、靈敏度高、準確性好、測量過程穩(wěn)定等特點，是直接分析固態(tài)導體材料中痕量元素的最有效工具，廣泛應用在高純金屬、半導體材料、非導電材料、鍍層材料、高溫合金、高純石墨等的雜質分析、深度分析中。
　　我國質譜儀技術水平與國際相差較大，美國安捷倫、賽默飛世爾、日本島津等企業(yè)的質譜儀幾乎壟斷全球市場。其中輝光放電質譜儀生產(chǎn)商主要包括賽默飛世爾、日本堀場（HORIBA）等。但國外對輝光放電質譜儀實施嚴格的出口管制，在地緣政治日趨緊張的背景下，輝光放電質譜儀國產(chǎn)替代需求迫切。
　　近年來，在國家專項項目支持下，我國已研制出多種型號的輝光放電質譜儀，目前已進入產(chǎn)業(yè)化推廣階段，研制單位包括西北核技術研究院、坤元儀器（天津）有限公司、西安交通大學、陜西威思曼高壓電源股份有限公司等。坤元儀器（天津）有限公司與西安交通大學聯(lián)合研制的Sparkle輝光放電質譜儀是“十四五”國家重大科學儀器設備研發(fā)專項成果之一，其痕量元素檢測達到國際一流水平。
　　輝光放電質譜儀主要用于無機固體材料痕量元素分析，在材料科學、半導體、新能源、航天航空、核工業(yè)等領域具有廣闊應用需求。輝光放電質譜儀技術壁壘高，且國外對其實施嚴格出口管控。為避免卡脖子，近年來，在政策扶持下，我國逐漸實現(xiàn)了輝光放電質譜儀國產(chǎn)化生產(chǎn)，與此同時，輝光放電質譜儀計量校準規(guī)范也不斷完善。