串列加速器，指基于靜電加速器原理發(fā)展而來的粒子加速裝置。串列加速器具備高壓穩(wěn)定性好、適用范圍廣、可集成多種功能等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、核物理研究、材料科學(xué)以及半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
按照電壓等級不同，串列加速器可分為高能串列加速器以及低能串列加速器兩種類型。低能串列加速器以HI-13串列加速器為代表，其運(yùn)行電壓范圍為1.5-13MV，目前已在核數(shù)據(jù)測量、航天微電子器件單粒子效應(yīng)研究等領(lǐng)域獲得應(yīng)用。未來伴隨HI-13串列加速器行業(yè)發(fā)展速度加快，串列加速器將迎來廣闊市場前景。
串列加速器屬于高端儀器設(shè)備，應(yīng)用范圍較廣，主要包括生物醫(yī)學(xué)、核物理研究、材料科學(xué)以及半導(dǎo)體制造等。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，串列加速器可用于腫瘤放療以及核藥開發(fā)過程中；在核物理研究領(lǐng)域，其可用于核反應(yīng)、核結(jié)構(gòu)以及核物理試驗(yàn)研究過程中；在材料科學(xué)領(lǐng)域，其可用于調(diào)整目標(biāo)材料的微觀結(jié)構(gòu)；在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，其可用于提升半導(dǎo)體材料的性能。未來伴隨應(yīng)用需求增長，串列加速器行業(yè)發(fā)展空間有望擴(kuò)展。
在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，歐美國家長期占據(jù)串列加速器市場主導(dǎo)地位。美國國家靜電公司（NEC）、荷蘭HVEE公司為全球知名串列加速器生產(chǎn)商。美國NEC公司具備不同規(guī)格串列加速器規(guī)�；�供應(yīng)能力，產(chǎn)品銷量位居行業(yè)領(lǐng)先。
在本土方面，我國串列加速器長期依賴進(jìn)口，美國為我國主要進(jìn)口國。近年來，隨著國家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步，我國串列加速器市場國產(chǎn)化進(jìn)程有所加快。中國原子能科學(xué)研究院已開發(fā)出2×3.0MV串列加速器以及2×1.7MV串列加速器等不同規(guī)格串列加速器，產(chǎn)品主要應(yīng)用于科研領(lǐng)域。2025年4月，我國首臺套商品化串列加速器通過驗(yàn)收，該產(chǎn)品由中國原子能科學(xué)研究院研制成功，目前已在哈爾濱工程大學(xué)獲得應(yīng)用。
串列加速器作為粒子加速裝置，用途廣泛。未來伴隨技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用需求日益旺盛，串列加速器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。在行業(yè)發(fā)展初期，全球串列加速器市場被歐美國家占據(jù)主導(dǎo)。未來隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國國產(chǎn)串列加速器市場占比有望提升。